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篇名: total pitch
作者: 在人間飄蕩的遊魂 日期: 2013.02.12  天氣:  心情:

Pitch是指一段的距離

Total Pitch就是指所有每一段距離加總


專業說明:
Total Pitch 指的就是單方向上光罩設計上
兩點之間距離與實際產出基板量測兩點之間距離的差值


 Total Pitch >0  表示圖形變大


 Total Pitch <0  表示圖形縮小



 假設光罩圖案


產出彩色濾光片圖案


 比原本光罩多出的那段距離就是Total Pitch量測結果


 

因為彩色濾光片上的圖案是由光罩曝光而來,理論上基板上的圖形是要和原本光罩上圖形大小要一樣。





但因為曝光時環境溫度,造成光罩與基板熱脹冷縮,加上基板與光罩材質不同,膨脹係數就不同,使得圖形大小有所變異。


 


另外,因彩色濾光片最終要與TFT貼合,兩邊的圖案大小不能差異太大,因此才要有Total Pitch量測與限制。


 


一般規格是限制正負3.5微米


(參考資料來源:網路)

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住戶回應
 
時間:2013-02-13 00:52
他, 36歲,台中市,其他
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